美国 entegris 在线气体过滤器 II F Mini XL 在气板、气柜以及晶圆处理中需要超纯气体的任何地方进行卓的越的颗粒过滤。 1.紧凑型装置减少了整体气箱占地面积，节省了宝贵的设备空间 2.PTFE 膜提供高效过滤，提高产品产量 3.低压降降低了低蒸气压气体凝结的风险 4.与各类半导体工艺气体具有出色的兼容性 5.适用于惰性气体和活性气体，包括臭氧

美国 entegris 在线 PTFE 气体过滤器 MAX-1000 这些在线气体过滤器采用 由 PFA 结构和 316L 不锈钢外壳支撑的 PTFE 膜， 在超纯气体应用中提供 卓的越的颗粒过滤。 1.过滤面积大，过滤效率提高 3 倍，压降低，流量大 2.与当前过滤器相同的长度尺寸允许轻松实施，而无需更改气体面板或输送系统的设计。 3.过滤器使用寿命延长，比上一代长 3 倍