您的位置：高压汞/金卤灯全自动UV照射设备是一种使用具有强辐射能的灯管的紫外线固化设备。
装入工件后，按下启动按钮，机器将全自动将工件从料库中取出，并用紫外灯照射，并存储，直到料库中的工件全部完成。
根据目标工作，您可以选择高压汞灯和金属卤化物灯。
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更新时间：2023-11-21 
浏览次数：254高压汞规格
全自动UV照射机
高压汞/金卤灯全自动UV照射设备是一种使用具有强辐射能的灯管的紫外线固化设备。
装入工件后，按下启动按钮，机器将全自动将工件从料库中取出，并用紫外灯照射，并存储，直到料库中的工件全部完成。
根据目标工作，您可以选择高压汞灯和金属卤化物灯。
紧凑的机身
可以进行 10 种配方设置（速度根据设置而变化）
可使用触摸面板以 4 种方式设置功率
显示累积照射量和紫外线照射强度（仅照射期间）
可根据照射对象选择高压汞灯/金属卤化物灯
配备自动设置变更功能，可自动切换至不同尺寸
不仅可以照射切割框，还可以照射握持环。
具备判断UV照射是否完成的功能。
可用于LSI晶圆、存储器晶圆、LED晶圆、激光晶圆、传感器晶圆、功率器件晶圆等各种工艺。
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| 尺寸 | 宽1300×深1400×高1350（毫米） | |
|---|---|---|
| 重量 | 约400公斤 | |
| 驾驶空气 | 0.4Mpa以上 | |
| 紫外线照度 | 200mW/cm²以上 | |
| 氮气 | 0.2Mpa以上 100L/min以上 | |
| 电源 | 交流三相200V 50/60Hz 100A | |
*尺寸适用于 8 英寸类型。
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